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5400金屬密封式質量流量控制器

更新時間:2025-06-23

簡要描述:

日本科賦樂金屬密封式質量流量控制器使用時進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈(濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米)。

廠商性質:代理商點擊量:3820
5400金屬密封式質量流量控制器
產地進口加工定制
質保1年

日本科賦樂金屬密封式質量流量控制器
日本KOFLOC5400系列質量流量控制器-金屬密封
金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
適用于高真空、半導體、劇毒、強腐蝕氣體環境下
±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用

日本科賦樂金屬密封式質量流量控制器

性能參數

量程(N2)

10SCCM-20SLPM(另外50SLM

精度

±1.0%FS

重復性

±0.2%FS

響應時間

1秒以內

耐壓

1.0Mpa

進口大壓力

O.3Mpa

動作壓差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m³/s以下

溫度范圍

5-45℃

濕度范圍

10-90%RH(不能結露)

材質

本體SUS316L

 

密封圈SUS316L、PTFE

電氣接口

DB9

模擬信號

0-5V輸入/輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

管路連接

標配1/4UJR

 

選配1/8UJR

重量

約1000g

    ★使用注意

 

一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈(濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米)。

二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

三:安裝前,請將設備管路進行整體吹掃。

四:耐壓1.0Mpa,進口大壓力5公斤。

五:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。

 

 

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